Cara kanggo nyiapake polysilicon.

1. Loading

Selehake crucible kuarsa sing dilapisi ing meja ijol-ijolan panas, tambahake bahan mentah silikon, banjur pasang peralatan pemanas, peralatan insulasi lan tutup tungku, evakuasi tungku kanggo nyuda tekanan ing tungku dadi 0.05-0.1mbar lan njaga vakum. Introduce argon minangka gas protèktif kanggo njaga tekanan ing tungku Sejatine ing watara 400-600mbar.

2. Pemanasan

Gunakake mesin ingkang ndamel benter grafit kanggo panas awak pawon, pisanan nguap Kelembapan adsorbed ing lumahing bagean grafit, lapisan jampel, bahan mentahan Silicon, etc., lan banjur alon-alon panas kanggo nggawe suhu saka crucible kuarsa tekan babagan 1200-1300℃. Proses iki njupuk 4-5 jam.

3. Lebur

Introduce argon minangka gas protèktif kanggo njaga tekanan ing tungku Sejatine ing watara 400-600mbar. Mboko sithik nambah daya panas kanggo ngganti suhu ing crucible kanggo bab 1500℃, lan bahan baku silikon wiwit nyawiji. Simpen sekitar 1500℃sajrone proses leleh nganti leleh rampung. Proses iki njupuk kira-kira 20-22 jam.

4. Wutah kristal

Sawise bahan mentah silikon dilebur, daya pemanasan dikurangi kanggo nggawe suhu crucible mudhun nganti 1420-1440.℃, yaiku titik lebur silikon. Banjur crucible kuarsa mboko sithik mudhun, utawa piranti insulasi mboko sithik mundhak, supaya crucible kuarsa alon-alon ninggalake zona pemanasan lan mbentuk pertukaran panas karo lingkungan; ing wektu sing padha, banyu liwati liwat piring cooling kanggo ngurangi suhu leleh saka ngisor, lan silikon kristal pisanan kawangun ing ngisor. Sajrone proses wutah, antarmuka padhet-cair tansah tetep sejajar karo bidang horisontal nganti wutah kristal rampung. Proses iki njupuk kira-kira 20-22 jam.

5. Annealing

Sawise wutah kristal rampung, amarga gradien suhu gedhe antarane ngisor lan ndhuwur kristal, kaku termal bisa ana ing ingot, kang gampang kanggo break maneh nalika dadi panas wafer silikon lan preparation saka baterei. . Mulane, sawise wutah kristal rampung, ingot silikon katahan cedhak titik leleh kanggo 2-4 jam kanggo nggawe suhu ing ingot silikon seragam lan nyuda kaku termal.

6. Kelangan

Sawise ingot silikon wis annealed ing pawon, mateni daya panas, mundhakaken piranti jampel panas utawa rampung murah ingot Silicon, lan introduce aliran gedhe saka gas argon menyang pawon kanggo mboko sithik nyuda suhu ingot silikon kanggo cedhak. suhu kamar; ing wektu sing padha, tekanan gas ing tungku mboko sithik mundhak nganti tekan tekanan atmosfer. Proses iki njupuk kira-kira 10 jam.